以下制程的EXE:5000系列EUV光刻機。希望屆時新的EUV光刻機能夠進一步提升能效比。但是，單機的能耗恐怕難以實現(xiàn)大幅的降低。
根據(jù)之前的預(yù)測，臺積電3nm半導(dǎo)體制造廠開啟后，預(yù)計年耗電量將達到70億度。而等到2nm制程Fab的量產(chǎn)，其耗電量必然將再度上升到一個新的臺階，未來臺積電的用電量將有可能超過臺灣總電量的10%。
“缺電”或成臺灣半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展掣肘
需要指出的是，由于臺灣的煤炭、石油、天然氣、水利資源都比較匱乏，這也導(dǎo)致了臺灣所需的能源99%需要靠進口。更為關(guān)鍵的是，在2011年日本大地震導(dǎo)致日本福島第一核電站發(fā)生泄露之后，臺灣就開始逐步“去核化”，這也進一步加重了臺灣的能源危機。
當(dāng)時的民進黨主席蔡英文為了獲得支持率，就拋出了“2025非核家園計劃”，強調(diào)如果贏得“總統(tǒng)”大選，將最終在2025年完全停止核能發(fā)電。蔡英文當(dāng)選之后，2017年2月，臺灣地區(qū)立法機構(gòu)正式通過的相關(guān)條文明確，核能發(fā)電設(shè)備應(yīng)于2025年以前全部停止運轉(zhuǎn)，以實現(xiàn)蔡英文提出的“2025非核家園”目標(biāo)。
按照“2025非核家園”的規(guī)劃，到2025年臺灣天然氣發(fā)電占總發(fā)電比例的50%，燃煤30%，綠色能源20%。而根據(jù)臺電所發(fā)布的報告顯示，2016年臺電系統(tǒng)發(fā)、購電量為2258億度，其中火力發(fā)電量占比達79.9%，再生能源占比為5.1%，抽蓄水力1.5%，核能為13.5%。而2016年臺電備用容量率僅10.4%。考慮到未來臺灣用電的增長，要在完全退出核能的同時，實現(xiàn)2025年“2025非核家園”的規(guī)劃目標(biāo)幾乎是不可能。
在臺灣當(dāng)局通過“2025非核家園”目標(biāo)數(shù)月之后，2017年8月15日，臺灣發(fā)生全島性大規(guī)模停電，受影響家庭近700萬戶（幾乎是臺灣全部人口）。而為了保護臺灣的支柱產(chǎn)業(yè)——半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，當(dāng)?shù)卣畬?dāng)晚殘存的電力全都供給了三大科學(xué)園區(qū)的半導(dǎo)體Fab廠，這才使得全球最大的晶圓代工廠臺積電在這次停電中毫發(fā)無傷。但這也著實讓當(dāng)?shù)卣芭_積電大驚一場。要知道，一座先進制程的半導(dǎo)體產(chǎn)線停電幾小時就有可能造成數(shù)千萬美元的損失。
為了緩解日益緊張的用電危機，2018年11月，臺灣當(dāng)局“認(rèn)慫”，“以核養(yǎng)綠”公投過關(guān)，廢止了2025年核能發(fā)電設(shè)備全部停止運轉(zhuǎn)的期限，這也使得2018年臺灣核能供應(yīng)相比2017年有所增加。但是蔡英文政府仍強調(diào)，非核家園仍是目標(biāo)。
根據(jù)統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，2018年中國臺灣地區(qū)能源供給總量為1.28億噸油當(dāng)量，以化石能源為主，占92.8%，非化石能源僅占7.2%?；茉粗?，石油供給總量為6170萬噸油當(dāng)量，占能源供給總量的48.3%，煤炭3755萬噸油當(dāng)量，占29.4%，天然氣1940萬噸油當(dāng)量，占15.2%。2018年非化石能源消費中，核能供給量很大，為688萬噸油當(dāng)量，占能源總供給的5.4%。其他能源品種：生物質(zhì)及廢棄物僅占