13臺EUV，花費金額約120億元人民幣，該公司明年EUV機臺數(shù)將超過50臺。
而在今年10月，《BusinessKorea》曾報道，三星電子副會長李在镕到訪荷蘭ASML，親自催促對方提前1個月交貨9臺EUV，以實現(xiàn)2030年超越臺積電成為半導體代工龍頭的目標。
2018年5月，中芯國際也曾花費1.2億美元向荷蘭ASML采購后者最先進的EUV光刻機。然而，在美國政府的各種阻撓之下，該訂單至今也未能落地。
值得一提的是，在7nm及以下制程領域，全球僅剩臺積電、三星、英特爾和中芯國際4個玩家。其中，英特爾和中芯國際的7nm工藝還未實現(xiàn)量產(chǎn)。
調(diào)研機構TrendForce統(tǒng)計的數(shù)據(jù)顯示，今年二季度，臺積電依然位居全球晶圓代工市場第一，市場份額達51.5%；排名第二的三星占據(jù)18.8%的市場；GlobalFoundries（格芯）排名第三，份額為7.4%；聯(lián)電第四，份額為7.3%；中芯國際排名第五，份額為4.8%。